分布式光纤火灾探测器现在常用的数控机床检测方法是采用激光干涉仪，比如HP5529A动态校正装置和Renishaw、Zygo激光测量系统。这些激光干涉仪采用先进的光学技术，简化了安装过程，加强了数据采集和处理等功能，使得测量较为简单，但其基本的测量过程并没有改变，还是单参数测量。一般三轴数控类加工设备总共需要检测21项误差分量，安装一次仅测量一项误差分量，其检测过程烦琐与漫长。因此，发展同时测量六自由度几何误差的激光系统是机床工具行业普遍面临的技术问题。而且，其他许多行业，如空气动力中天平的校正问题，需要同时测量六个自由度的变形来获得天平各方向所受力与力矩大小，使用传统的激光干涉仪单参数分时测量显然不能满足要求。国内外相关领域对以上问题进行了研究，出现了应用激光同时测量多自由度的几种方法，也有API公司的五自由度、六自由度激光测量系统销售。下面对这些方法分别进行概述。

    分布式光纤火灾探测器基于全反射原理的五自由度测量原理图，双频激光器发出的激光经偏光分光镜分为两束，由固定角隅棱镜RR1反射回来为参考光束，由运动的角隅棱镜RR2反射回来为测量光束。在这两束光路中插入两个完全相同的无极性半透半反镜( BS1，BS2)和一个干涉滤光器。RR2反射回来的光束经BS2分为两束，透射光用来测距，反射光用来测量其他位置敏感探测器概述四个误差项。采用带通干涉滤光器是为了消除外界光线对光接收器的干扰。由BS2反射的光束的半透半反镜BS3处再一次分成两束。反射光由一个两维位置传感器(PSD)检测。俯仰角测量部分中半波片的作用是使激光束的极性发生旋转，从而使反射到Pl上的光束为P偏振光，偏转角测量部分中半波片有类似的作用。整个装置只能测量五自由度误差，并且采用了过多的光学元件，使得系统复杂，在实际中应用不多。